管道顆粒度檢測
a.測試目的和標準
對高純氣體輸送系統微粒濃度的檢測
b.測試儀器
1cf塵埃粒子計數器（0.1um）
c.測試前準備
(1)在圖紙上標出微粒測試的管路, 并將取樣點和吹掃氣體導入點在圖上標出。
(2)將經過過濾的純凈氣體接入測試管路中, 調節流量, 確保流量不超過過濾器的額定流量。
(3)確保待測系統中的閥門和調壓閥處在開啟位置。
e.測試方法
（1）檢查系統內的氣體流速, 確保系統流量符合微粒測試的最小的速度要求。
(2)使用管徑至少是1/4” 的不銹鋼EP管材和微粒儀相連。選取各系統的最不利的用氣點（即系統內管路最長、走向最復雜的用氣點）進行測試，或經甲方工程主管指定用氣點進行抽樣測試。
用塵埃粒子計數器連接氣體管道采樣。儀器布置示意圖如下：
塵埃粒子計數器進行在線監測測量，當觀察到讀數滿足要求并穩定一段時間之后，即停止測試。塵埃粒子測量在連續十個周期（1min為一個周期）合格之后停止測量。
(3)持續抽樣直到系統達到驗收標準。
測試完成
（1）把粒子計數器從系統中移走,然后降低系統的流量。
（2）在測試的完成后應保持系統或組件在正壓下或在吹掃狀態中。
（3）在微粒測試成功完成之后通知業主質量管理員。
測試失敗：經過測試,如果系統達不到驗收標準, 執行以下步驟來找出并解決問題。
（1）檢查入口過濾器
（2）把粒子計數器直接連接在已過濾過的氣源取樣管路中。如果微粒計數儀在20 分鐘內達到零.說明過濾器功能正常, 間歇性吹掃管路系統,重新測量直到系統到達驗收標準。
g.具體測試步驟
PN2（10）、Par（5）、PHe（1）設備接頭共同串聯，一次完成顆粒測試。
NH3（5）、SiH4（5）、1% PH3/H2（5）、NF3（5）、PH2（5）針對不同的氣體不同管道單獨顆粒測試；
